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一种周期可调微机械光栅及其制作工艺

2015年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种周期可调微机械光栅及其制作工艺，属于微光机电（MOEMS）器件领域。该光栅的特征在于，其基底为玻璃、蓝宝石等绝缘透明材料。其制作工艺为：在基底表面淀积一层金属薄膜；在结构材料的一侧刻蚀出一定高度的锚点；两者通过锚点键合在一起，并将结构材料减薄至所需厚度；对结构材料进行刻蚀、释放形成结构层部分，形成光栅。因为该光栅的基底是完全透光的，当入射光入射到光栅上时，一部分反射产生反射...
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