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一种黑化后不良荫罩的回收方法

2015年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
一种黑化后不良荫罩的回收方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步：将黑化后出现的、经过判定之后必须报废的黑化膜脱落、表面生锈、污染的不良荫罩全部挑出进行二次退火处理，荫罩在进行二次退火时是在连续式氢气退火炉内进行的，退火炉的气氛是氢气，荫罩退火工艺要求温度在730？？770℃之间保温8？？14分钟，最高温度为750？？770℃，退火炉网带的实际运行速度要求100？？120mm/min；第二步...
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