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数字干涉条纹分析方法及光学元件面形检测装置

2015年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种数字干涉条纹分析方法及光学元件面形检测装置。其主要技术特点是，首先给原始的数字干涉条纹图像乘以窗函数，以扩展干涉条纹图像频谱的主瓣宽度并抑制其频谱的旁瓣；然后，再对数字干涉条纹图像进行傅里叶分析，其间采用质点组质心坐标计算法对数字干涉条纹的空间载频进行估计，并用于数字干涉条纹图像的移频，从而有效地抑制了栅栏效应给测量带来的误差。此外，基于本发明数字干涉条纹分析方法构建的光学...
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