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一种改变晶片取向的研磨夹具

2015年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种改变晶片取向的研磨夹具，包括与固定配重杆连接的载荷盘，载荷盘的下方是定位座，定位座是一个中空的开口朝下的圆凹槽，载荷盘和定位座分别开有对应的两个通孔，穿过每对通孔分别设置有调节支撑杆和固定支撑杆，调节支撑杆与载荷盘活动连接，固定支撑杆与载荷盘固定连接；在定位座的向下槽沿设置有研磨垫圈，定位座的空腔中设置有一个角度偏转盘，角度偏转盘上分别设置有铰链架和接耳，铰链架与固定支撑杆...
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