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一种硅棒的多线切割方法

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种硅棒的多线切割方法，属于硅棒多线切割成硅片的方法的技术领域，在导轮上安装切割线形成切割面，硅棒安装于工作台上，通过控制切割线的运转和硅棒与切割面的间距实现硅棒的切割；其切割区喷射有砂浆液。采用小直径金属线作为刀具，参与面积小，提高了硅片的出片率，降低了成本；通过改进切削液中乙二醇的纯度，提高绿碳化硅金刚砂的烧结硬度，球化颗粒均匀粒度，从而达到在切割时减少了硅片表面的切割缺陷...
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