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大面积纳米压印技术、装备与应用

2015年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
微纳制造技术是支撑新一代信息技术产业、新能源、新材料、生物医疗、微纳科技等战略性新兴产业发展的基础和关键。微纳结构制造（微纳米图形化）是微纳制造技术的核心，尤其是高效、低成本批量化制造大面积微纳结构的工艺和装备是实现微纳器件和产品（如诸如光子晶体LED、纳米图形化蓝宝石衬底、晶圆级微纳光学器件、高效太阳能电池板、新一代高清平板显示、抗反射和自清洁玻璃、柔性电子等）从实验室走向大规模工业化应...
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