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基于组合传感器的深孔/盲孔尺寸参数测量的关键技术研究

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
随着微型化与高精度技术的发展，微小内尺度零件的使用越来越广泛，如航空喷气发动机燃油微喷嘴和静电陀螺仪内球腔电极等，其内尺度约为几百微米至几毫米量级，且大多为深孔、盲孔、半球碗或过半球碗等。电容式非接触测量具有很大的优势，测量精度高，安装方便，值得推广。
项目研究基于变极距电容传感器的理论，采用非接触式电容传感器对深/盲小孔的尺寸参数进行测量，消除了接触测量对小孔内壁测量...
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