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基于蚀刻技术的超精密垫片

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一、简要技术说明及主要技术性能指标
一、简要技术说明
项目通过对化学蚀刻工艺和设备的深入研究，重点突破了国内对超薄型、高精度垫片生产的技术难题。产品的主要优势是材质薄、精度高，且产品内部呈两种厚度，无须用其他方法来对该产品进行再加工，加工方便，产量高。
项目具备以下几点创新：
1、采用其他工艺无法代替的蚀刻工艺...
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