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高压大电流绝缘栅双极型晶体管研发

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一、简要技术说明及主要技术性能指标
项目实施过程中,研发了:
1、研究高压大电流绝缘栅双极型晶体管管芯的新结构,提升IGBT管芯的相关性能和工作稳定性、可靠性。
2、研究高压大电流IGBT管芯的结终端结构,并在工艺与版图上实现与元胞结构的兼容。
3、开发IGBT管芯背面集电极工艺,包括减薄工艺。
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