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直接激光干涉纳米光刻技术及应用研究

2015年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
1. 课题来源与背景
为支持留英归国的王作斌博士启动科研工作，长春理工大学自筹经费400万元，于2009年10月创建了纳米测量与制造技术中心（CNM），中心于2013年被科技部认定为“国家纳米操纵与制造国际联合研究中心”。中心运行期间，通过国家外专局引智项目，与俄罗斯科学院应用物理所资深研究员Yury K Verevkin博士建立了长期的友好合作关系。Verevkin的...
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