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基于MOEMS的微小型静态红外光谱技术及仪器

2015年

应用技术

中期阶段

成果简介

为解决现有大型仪器体积大、且因采用时间调制方式需要参考光源、对驱动机构精度要求高、因使用环境要求高而不利于恶劣环境或在线检测等问题，本项目对基于MOEMS的微小型静态红外光谱技术及仪器进行研发。该系统引入MOEMS多级微反射镜以实现程差可控，采用静态结构以提高微系统的稳定性。拟通过理论研究、系统设计、光学器件制作及红外微系统的装调方法的研究，解决光均匀化、复消色差、象差校正及降噪等...

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