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负压扩散炉设备与工艺研发

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
光伏电池生产工艺中，随着电池向大尺寸、超薄化方向发展以及较低的表面杂质浓度要求，常规闭管扩散炉已不能满足使用，而负压扩散技术优势逐渐明显。它对156尺寸的硅片在每批次产量高达800片的情况下，其扩散均匀性仍优于±4%（表面方块电阻80～120Ω/口）。负压扩散是高品质扩散的首选，更是一种环境友好型的生产方式。
本项目研究的目标旨在充分利用本公司现有的硬件和技术平台，以尽...
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