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薄膜太阳能电池等离子增强化学气相沉积（PECVD）设备

2015年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

项目产品薄膜太阳能电池等离子增强化学气相沉积（PECVD）设备，主要用于硅基薄膜太阳能电池的核心半导体层的沉积，适用于硅基薄膜太阳能电池行业应用。晶硅薄膜太阳能电池生产，太阳能光伏产品应用广泛，可以应用于民用产品（如：计算器、太阳能路灯、太阳能充电器等），也可以应用于大规模发电以及光伏建筑节能一体化、公共设施、发电站等等，具有极其广泛的应用前景。
PECVD 是借助于...

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