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LED衬底加工用金刚石研磨液制造技术研究

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本项目为科技部科研院所技术开发研究专项资金项目（项目编号：2009EG119127），项目起止时间：2010.01-2011.12。本项目拟在开发LED衬底研磨加工领域内所需的金刚石研磨液，替代进口。
本项目通过对金刚石研磨液各组分选取研究、金刚石研磨液制备工艺研究、化学助剂对研磨液性能影响研究、金刚石研磨液性能指标检验研究、小批量制备研究等方面进行研究，解决了高效精密...
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