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高性能半导体电弧石英坩埚

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一、任务来源与背景（自选）
本项目是许昌天戈硅业科技有限公司工程技术人员，根据石英坩埚的国内外技术发展趋势和市场需求自选的科研项目。
二、技术原理及性能指标
1、技术原理
目前，国内各种石英坩埚制造企业在生产中，普遍存在工艺复杂，劳动强度大，生产效率低，能源浪费严重等问题，迫切需要一种新的技术，以提高成形质量，...
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