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金刚石线切割设备

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
1.金刚石线切割与游离磨料切割工艺相比，金刚石线切割工艺的改进，可实现：
高效率切割——与历来的游离磨料形式相比，切割效率提升140%；
成品率提高——硅片切割精度保持稳定，减少了加工损伤；
综合成本节余——较传统工艺降低综合成本约30%；
节能环保——大幅度减少废线锯、废砂浆的产生；切割砂浆可以循环利...
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