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热解石墨合金

2003年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
“热解石墨合金”来源于国家科技型中小企业技术创新基金项目，属2000年度第二批，其编号为00C26213310820。“热解石墨合金”是该公司在国内首次研制成功的“先进陶瓷材料”，采用化学气相沉积技术，将多种气体混合通入高温真空容器内，在预置的石墨基体上形成耐高温、耐磨蚀、气密性好、抗氧化的化合物层，即石墨合金。它首创性的在蒸气压控制直拉法GaAs单晶技术及小件硅外延基座上获得应用，也必将...
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