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平板显示器用大尺寸、高密度烧结ITO靶材研究开

2014年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
ITO靶材是磁控溅射制备ITO透明导电薄膜的原料，这种透明导电薄膜对可见光透过率＞85%，红外光反射率达90%，且导电性好，有优良的化学稳定性、热稳定性和刻蚀性。广泛应用于平板显示器、防辐射玻璃、太阳能电池板等领域。我国具有得天独厚的铟资源优势，年产量占全世界总消耗量的70%左右，而铟消耗量的80%左右用于加工为ITO靶材。但由于缺乏深加工技术，铟几乎全部以初级产品的形式出口国外。高端显示...
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