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一种制备纳米材料的真空管式炉

2014年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种制备纳米材料的真空管式炉，它包括密封的真空室（2），所述真空室（2）设置在炉体（1）内，真空室（2）内气流下游处设置有衬底（7），其特征是：该真空室（2）连接有至少一个能控制和调节源材料蒸发速率的源材料蒸发器（16），所述源材料蒸发器（16）连接在真空室（2）垂直于气流方向的一端。本发明采用控制源组分通量技术，可实现组分的精确控制、梯度掺杂和衬底的原位操作等功能；全系统由计...
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