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一种提高薄膜型ZnO场发射特性的方法

2014年

应用技术

初期阶段

成果简介

本发明公开了一种提高薄膜型ZnO场发射特性的方法，首先制得掺Al的ZnO陶瓷靶材，然后制备掺Al的ZnO薄膜，将制得的掺Al的ZnO薄膜切割成0.5cm2见方作为阴极，ITO玻璃作为阳极，用玻璃丝将阴极与阳极隔离，间隔为100微米，送入KEITHLEY？2410真空测试系统进行测试，真空度为5×10-7Pa，当场发射电流密度为10-6A/cm2时，阳极ITO玻璃和阴极掺Al的ZnO薄膜之间...

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