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一种微流体系统的制作方法

2014年

应用技术

初期阶段

成果简介

本发明涉及微流体系统，公开一种微流体系统的制作方法。它包括以下步骤：选用光刻胶SU-8，在玻璃晶片上匀胶、烘烤制作微流体系统的基体，采用UV-LIGA厚胶紫外光刻工艺制作微流体系统的腔体；采用美国3M公司的VHB4910薄膜材料作为振膜层，涂敷导电碳膏，形成泵膜和内引线；根据微流体系统的腔体结构尺寸，在有机玻璃上开设与微泵室、进出液口相对应的通孔；采用3M公司的VHB9473薄膜材料做为黏...

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