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凹槽绝缘栅型栅-漏复合场板功率器件及其制作方法

2014年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种凹槽绝缘栅型栅-漏复合场板功率器件及其制作方法,该器件自下而上包括衬底(1)、过渡层(2)、势垒层(3)、源极(4)、漏极(5)、绝缘介质层(7)、绝缘槽栅(8)、钝化层(9)、栅场板(10)、漏场板(12)和保护层(13),该漏场板(12)与漏极(5)电气连接,该栅场板(10)与绝缘槽栅(8)电气连接,其中,势垒层上开有凹槽(6);栅场板与漏场板之间的钝化层上淀积有n个浮...
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