首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

一种薄膜残余应力测量方法

2014年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种薄膜残余应力测量方法，将任意形状的测试平板1通过任意形状和位置的支撑锚点2悬置于基底3上，牺牲层4填充在测试平板1和基底3之间，测试平板1的厚度以及支撑锚点2的高度均与待测应力的器件一致。测试时，将包含待测应力的器件和薄膜残余应力测量结构6的样品置于腐蚀液7内，当测试平板1的自由端悬置长度δ达到某一临界值时，其悬置部分将出现瞬间的屈曲变形，记录下该时刻的δ值以及屈曲变形模态...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统