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CMOS级超净高纯试剂

2003年

应用技术

中期阶段

成果简介

为了适应我国电子工业迅速发展的需要，经市场调查和专家建议，江阴市化学试剂厂在原有生产MOS级高纯试剂的基础上，引进关键设备和仪器，研究开发生产电子用CMOS级超净高纯试剂项目。该项目主要技术指标为：产品液体中颗粒≥0.5um少于100(个/ml)，单项阳离子（26-30种）：ppb级。达到国际半导体设备和材料协会“SEMI”90年代先进标准水平。据查新报告（见中国化工信息中心的查新报告）认...

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