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一种多晶硅装置的清洗方法

2010年 应用技术
  • 成果简介
　　多晶硅厂是一个纯度要求高、工艺复杂、设备种类众多的化工系统，多晶硅产品中部分还具备冶金系统和半导体电子元器件的特点。由于产品要求纯度较高，相应地输送产品原料的管线和储存提纯原料的设备也就要求较高、较严格的洁净度。安装前若不进行清洗，设备上的锈渣的油渍等单靠系统物料的冲刷是无法达到洁净要求的；如不干燥，系统内哪怕一点水就会造成原料水解、设备腐蚀和系统堵塞。而只做简单的清洗，系统内壁附着的污物是不...
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