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大口径光学组件应力检测系统

2016年 应用技术
  • 成果简介
　　1、成果水平及专利情况
　　系统可对大口径平面光学组件的表面形貌进行高精密在线实时测量。获得国家专利1项：大口径平面光学元件的面形检测装置和方法（专利号：ZL200910058280.0）。
　　2、项目内容
　　项目是中国工程物理研究院于2008 年3 月批准的外协研究项目。主要研究内容是研制一套高精密检测设备，实现在线装校状态下，对任意角度放置在模块内的...
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