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相位调制型激光自混合干涉仪

2014年 应用技术
  • 成果简介
　　通过电光晶体正弦相位调制，采用高精度相位解调技术（含时域解调和频域解调），实现大尺寸高精度的位移测量。经江苏省计量科学研究院的校准，本套设备在300mm的范围内具有0.25μm的测量精度，不确定度为0.2μm，而在100μm的范围内具有18nm的精度，不确定度为10nm，该干涉仪适用于微纳机电系统制造过程中对大范围测量和纳米级测量分辨率要求的场合。
　　本产品已经在中航工业金城集团...
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