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高精度TFT 阵列开发

2014年

应用技术

成果简介

　　技术成果名称：高精度TFT 阵列开发
　　技术成果简介：
　　目前平板显示产业的关键工艺设备大部分依赖国外厂商设备，关键工艺设备国产化的需求日渐迫切；SMEE 投影光刻机为上海微电子装备有限公司研发的工艺设备，为打开投影光刻机在平板显示领域中快速应用，上海大学平板显示中心针对其设计了PMOLED 及AMOLED工艺开发及验证，促进设备在平板显示领域新技术方面的通用性及扩...

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