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在线式高产能管式PECVD设备开发与应用

2017年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

　　本项目“在线式高产能管式PECVD设备开发与应用”，为湖南红太阳光电科技有限公司自有项目，研究起始时间为：2014年12月至2016年8月。项目开发研制出一种在线式高产能管式PECVD设备，该设备主要是针对晶体硅太阳能电池制造生产线而研发。利用其生长的氮化硅膜减反射膜可以减少入射到太阳能电池板上太阳光的反射，从而大幅提高电池片的光电转化效率。广泛适用于半导体行业制备钝化层、介电层、绝缘层等功能...

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