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CYXTO51型MEMS压力传感器的研发

2017年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

　　1、课题来源与背景
　　自选课题。
　　2、技术原理及性能指标
　　CYXTO51型MEMS压力传感器是采用高精密半导体电阻应变片组成惠斯顿电桥作为力电变换测量电路的，将压力物理量直接变换成电量，具有较高的测量精度，其测量精度能达0.1～0.3%FS，有较低的功耗和极低的成本。
　　量程：0…10～100kPa 供电电压：...

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