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基于钛酸锶钡薄膜中氧空位分布与浓度调控的阻变存储特性研究

2017年

应用技术

初期阶段

成果简介

　　该项目重点研究了基于BST材料的Pt\BST\Pt结构的阻变存储器、基于Pt\BST\ZHO\Pt结构的双电荷注入俘获存储器和基于ZHO材料的Pt\ZHO\SiO2\Si结构的电荷俘获存储器的物理和电学特性，通过改变制备薄膜的气氛条件、退火温度以及薄膜的厚度等因素调控期间的存储特性，并在理论上探索了物理机理。通过运用TEM结合FTIR实验结果确定了在制备BST薄膜过程中引入Ar可以增大薄膜内氧...

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