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MDP系列抗大气冲击分子泵

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　项目依据传统涡轮及牵引真空分子泵的原理，采用建模—仿真—实验协同的研发技术，发明了多曲面复合的新型整体转子，以及润滑，冷却等核心零部件，开发出了能够完全经受大气冲击的系列分子泵。
　　该类型分子泵解决了常规分子泵受大气冲击碎裂的重大难题。同时优化了抽气性能，在中真空段具有优良的抽气能力，可抽除含有粉尘的气体，具有制造成本低、易维护等特点。突破了分子泵的使用条件和环境，扩展了分子泵的...
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