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大面积连续磁控溅射真空镀膜成套装备关键技术与产业化

2014年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
1、项目研发背景及技术：
近几年，在苹果等厂家高端电子产品的带动下，触摸屏行业在全球范围内得到了举世瞩目的发展，尤其是智能手机、Pad、Win8 超级本等电子产品的普及，为触摸屏行业带来的数百亿美元的市场。针对触摸屏市场需求暴增以及光伏产业的崛起，宏大真空研发了具有自主知识产权的大面积连续磁控溅射真空镀膜成套设备，主要关键技术包括 ：开发了大面积抗反射导电膜连续磁控溅射...
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