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一种用于微机械器件制作玻璃/硅键合装置及其使用方法

2005年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本成果涉及一种用于微机械器件制作的玻璃/硅键合装置，主要有探针电极工作台、显微镜、CCD及监视组件、硅片加热工作台及玻璃片定位工作台四部分组成，实施在硅片/玻璃片受热膨胀变形均匀稳定后进行对准并同时键合，使得键合对准精度达到1um的要求，提高了键合器件的精度和性能。



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