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电铸金刚石-金属复合膜微结构与微应力研究

2014年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
一、项目背景
用电铸自支撑金刚石-镍复合膜制作的超薄刀具可用于国民经济支柱产业--电子信息产业各种集成电路芯片及多种微电子器件划断和开槽，具有切缝小、工件精度高、表面质量好、切削效率高等一系列优点。为满足用户在被加工产品质量和切割性能方面的要求，切割工具必须具有高的尺寸和形位精度、足够高的刚性及强度、高的密度及组织均匀性。而这些性质很大程度上决定于镀层中镍晶粒尺寸和微观...
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