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RF射频法DLC类金刚石薄膜材料的开发研究

2014年

应用技术

中期阶段

成果简介

1.任务来源：2011年度河南省科技创新人才计划项目（编号：114100510025），该课题涉及到DLC(Diamond-Like Carbon)类金刚石薄膜材料的制造设备系统和沉积工艺的研究。解决的关键技术难题是DLC类金刚石薄膜材料与金属基材之间的结合强度，使其达到产业应用标准。
2.技术原理：
1）通过DLC薄膜材料制造设备系统的自主创新，使...

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