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高精度低成本MEMS压力传感器的研发及量产

2014年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

本项目结合智恒（厦门）微电子与台湾矽微电子各自的技术优势，研发MEMS压力传感器校正电路，实现对台湾矽微电子MEMS压力传感器的自动校正及温度补偿，并研发全自动校正设备以保证产能，对传感器的精度、温度特性、电磁干扰等指标进行评测，达到能够满足汽车工业要求的MEMS压力传感器。克服了国内大多数MEMS压力传感器厂家依靠进口核心芯片的缺点，具有完整的自主知识产权。
技术指标...

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