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基于二次莫尔条纹纳米光栅传感器关键技术研究

2014年 基础理论
  • 成果简介
计量技术为制造业的基础，其发展速度明显滞后，其中高精度长度检测方法、高精度通用仪器的发展一直是中国乃至世界加工制造领域的瓶颈问题之一。纳米测量技术与仪器是纳米科学和技术的一个重要分支，纳米科学和技术的迅速发展以及精密加工精度的不断提高，要求有高精度的测量仪器与之相适应，它不仅需要测量精度高，而且需要测量范围大。现有的光栅测量系统大位移测量，达不到纳米级水平，其关键问题是，实现纳米级水平的光...
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