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6英寸LED蓝宝石衬底

2014年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
主要研究6英寸LED蓝宝石衬底高精度定向切割技术、具有较高平坦度的研磨技术、纳米级光滑表面处理技术、改善大尺寸衬底内部应力的热处理技术以及高表面洁净度的清洗技术和6寸蓝宝石衬底的检测技术。6寸蓝宝石衬底的加工同2寸和4寸蓝宝石衬底的加工设备和方法类似，但国内外可进行6寸蓝宝石加工和达到量产水平的制造商寥寥无几，这是由于晶体面积扩大以后，给晶体切割、热处理以及研磨和抛光的加工难度加大，且各项...
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