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微振幅低频振动测量装置的研制

2014年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
项目来源于国家质检总局科技计划,项目遵循《2012-2013年上海市质量技术监督局科技项目立项指南》中有关新兴产业的微纳米计量标准装置研究和服务于新兴产业的声学与振动计量技术研究的发展方向。
超精密加工、光学仪器、MEMS技术和超声电机是当前国内外微纳技术研究领域的热点,但对于振幅微纳米频率若干赫兹的振动的测试计量一直是制约这些技术进一步提高精度和效率的瓶颈。消除超微密...
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