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高效异质结太阳电池产业化关键装备

2014年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
1、总目标
目标是开发用于异质结太阳电池生产线的关键装备——异质结太阳电池专用沉积设备,通过对关键技术的研究与掌握,打破国外的技术垄断,实现关键设备的国产化。
2、主要技术
太阳电池生产工艺与生产设备密切相关,异质结电池制备中涉及到很多相关的半导体工艺及配套的处理设备,它与晶体硅/非晶硅薄膜太阳电池的工艺技术有一定的兼容性,但对设...
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