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基于PVD技术的TiSiN基纳米复合结构超硬涂层

2014年

应用技术

初期阶段

成果简介

本项目研究了TiSiN纳米复合涂层的制备技术和探讨工艺参数对其性能的主要影响规律，工艺参数对TiSiN纳米复合涂层结构和力学性能的影响：在不同的溅射气压下制备的TiSiN涂层的沉积速率和硬度先增加后降低，在0.4Pa时可获得最高的力学性能。随着沉积温度由100℃升高到400℃时，TiSiN涂层的结晶程度和力学性能先增加后下降，在基片温度为300℃时，涂层可获得最高的硬度。随着N2/Ar气流...

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