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基于空间像检测的投影物镜波像差原位测量方法

2014年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种基于空间像检测的投影物镜波像差原位测量方法，该方法通过安装在工件台上的图像传感器测量具有不同方向取向的掩模标记对应的空间像光强分布，之后通过标定好的灵敏度矩阵计算得到投影物镜波像差。灵敏度矩阵可利用光刻物理仿真软件进行标定。相比于在先技术，本方法可以更为全面的检测投影物镜波像差。本发明所要解决的技术问题在于提供一种基于空间像检测的投影物镜波像差原位测量方法。通过安装在工件台上的图像传感...
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