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六轴4细分干涉仪

2014年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种六轴4细分干涉仪，特点在于其构成包括沿偏振正交双频激光入射方向依次为六轴分光系统和和干涉模块。所述的六轴分光系统由5个45°平面分光镜和4个45°全反镜组成。本发明具有元件加工易、光路调节方便、非线性误差小和各路光束温漂一致等优点。该发明的新型分光原理可以用于各种类型的多轴干涉仪，如六轴平镜和差分干涉仪等。在六轴平镜干涉仪中，参考反射镜与测量反射镜被安排成相互垂直的几何构型,这样六束参...
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