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偏振移相循环式雅敏剪切干涉测量仪

2014年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种偏振移相循环式雅敏剪切干涉测量仪，由雅敏平行平板、剪切平板、双面直角反射镜、偏振移相器、毛玻璃、成像镜组、图像传感器和计算机组成，本发明不仅保持了等光程干涉、剪切量可调的特点，还具有完全共光路、结构简单紧凑的优点。能有效地抑制外界环境的影响，提高了仪器的测量精度和稳定性。本发明利用偏振分束薄膜的分束、合束和直角棱镜的光束反射、位移构成了循环式干涉光路。因此本发明与先前技术相比，完全共光...
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