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随机达曼光栅的制备方法

2014年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种随机达曼光栅的制备方法，包括下列步骤：
①在两面平行的透明介质基片的一面涂匀光刻胶，置于随机光场下曝光显影并刻蚀，从而在刻蚀面形成具备一定深度的随机图案，
②在所述的透明介质另一面涂匀光刻胶，置于达曼光栅掩模图案下曝光显影和刻蚀，形成具备一定深度的传统达曼光栅结构图案。或先单独加工一个传统的达曼光栅和一个随机相位板，将所述的达曼光栅和所述的随机相...
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