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高性能栅长27纳米CMOS器件和栅长36纳米CMOS电路

2003年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
自芯片发明后的40多年中，微电子发展一直坚持不断微型化的技术路线，即遵循摩尔定律。在硅技术领域，以不断缩小芯片特征尺寸及不断扩大硅圆片尺寸的两大需求，推动芯片技术和产业的迅速发展。国际上用芯片中器件的特征尺寸来划分技术代，约每三年前进一代。当今国际上大量生产中主要采用的是0.15微米技术，实验室的研究水平则更为超前。典型的标志性研究进展： 2000年Intel和AMD分别研制成功栅长为30...
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