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空间移相菲索球面干涉仪

2014年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种空间移相菲索球面干涉仪，特点是在标准镜的入射面上镀有双折射薄膜，而且该标准镜的入射面为平面，出射面为球面，在第一分束器的反射光路上，设有第二分束器、第二准直透镜、达曼光栅、检偏器阵列、第二图像传感器和计算机，在所述的第二分束器的反射光方向设有第一图像传感器，以方便待测球面的调节，所述的计算机便于图像数据处理，本实用新型在可以实现对球面被测元件的面形测量。该空间移相菲索球面干涉仪可以获得...
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