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超纯特种电子气体制备工艺的研究

2014年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
微电子技术是现代信息技术和军事技术的主要基石，集成电路是微电子技术的核心，而电子特种气体，尤其是高纯电子气体作为电子化工材料，是制约集成电路可靠性和成品率的重要因素。随着电子信息技术的飞速发展，集成度越来越高，对基础原材料的纯度要求已经提高到5N级（99.999%）以上，另外气体的质量对芯片制造有很大影响。随着电子消费品的升级换代，产品制造尺度越来越大，产品成品率和缺陷控制越来越严格，整个...
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