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3英寸半绝缘碳化硅单晶生长技术

2014年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
课题“2～3英寸半绝缘碳化硅单晶”来源于自选项目
碳化硅器件可以用于新一代雷达、空调、光伏发电、风力发电、高效电动机、混合和纯电动汽车、高速列车、智能电网、超高压输变电等方面，为产业升级和节能减排提供了技术保障。
企业利用自行研制的4英寸碳化硅PVT晶体生长炉，采用无微管生长技术，在2300°以上高温，采用微小散热方法进行碳化硅单晶生长系统的轴向温度...
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